可預(yù)見(jiàn)的超薄玻璃液晶制造技術(shù)
日本旭硝子(AGC)在“SID2014”展會(huì)上展出了厚僅0.2mm的第5代(G5)TFT陣列基板、彩色濾光片基板以及由這兩種基板貼合制成的厚0.4mm、5英寸、500ppi的全高清液晶單元和面板(圖1)。系采用載體玻璃技術(shù)(CarrierGlassTechnology),利用客戶(hù)的生產(chǎn)線試制成的。
圖1:AGC(旭硝子)展示載體玻璃技術(shù)(CarrierGlassTechnology)。在G5尺寸(1300mm×1100mm)、厚0.5mm的載體玻璃上貼合厚0.2mm的超薄玻璃并在實(shí)際生產(chǎn)線上試制而成的彩色濾光片基板(左)和TFT陣列基板(右)。另外,在兩基板中間靠后位置展示的是將這2塊基板貼合制成的厚0.4mm、5英寸、500ppi的液晶單元和面板。AGC在展示過(guò)程中指出,還可以處理厚0.1mm的玻璃。
旭硝子在SID2012及SID2013上,都積極展示了正在開(kāi)發(fā)的載體玻璃,并一直在嘗試實(shí)用化。而且此次證實(shí)不經(jīng)過(guò)研磨工藝,0.4mm厚的液晶單元及面板即可實(shí)用化。
圖2:康寧展出的載體玻璃基板。這是在厚0.4~0.7mm的載體玻璃上貼厚0.1mm的超薄玻璃制成的G1尺寸的基板(前面和后面)。在后面的基板前面,通過(guò)視頻展示了生產(chǎn)線各工序的流程和剝離超薄玻璃時(shí)的情景。
美國(guó)康寧公司也在2014年年初展出了載體玻璃(圖2)。關(guān)于厚度在0.1mm以下的顯示器用超薄玻璃,旭硝子和康寧已在SID2011上展示了卷對(duì)卷(R2R)工藝,并對(duì)未來(lái)R2R實(shí)用化充滿(mǎn)期待。之后曾探討過(guò)要盡快實(shí)現(xiàn)超薄板玻璃,R2R技術(shù)和載體玻璃技術(shù)哪個(gè)更有效的問(wèn)題。而此次則實(shí)證了可直接使用原有的液晶制造裝置的載體玻璃技術(shù)的有效性。